С пoмoщью гoлoгрaфии исслeдoвaтeли пoкaзaли вoзмoжнoсть сoздaния oбъёмныx элeмeнтoв, a oбычнaя фотолитография использовалась для разделения таких 3D-модулей на отдельные части, формируя так называемую встречноштыревую структуру. Ars Technika
Группа изобретателей заявила о создании микробатарей, включающих MEMS- и КМОП-устройства. Для расположения электродов микробатареи на 3D-структуру наложили позитивный фоторезист, используя 2D-литографию. Эта микробатарея была протестирована в диапазоне напряжений от 1,4 до 3,2 В. Электроды размером 35 мкм размещены на расстоянии 15 мкм друг от друга. После 100 циклов зарядки-разрядки ёмкость снизилась примерно на 20 % от первоначального значения. Полная зарядка заняла около часа. Изобретателям научились создавать на стеклянной основе решётки из окиси индий олова с периодом 1 мкм и пористостью около 40 %. Некоторые одиночные успехи в этом направлении есть. По мнению исследователей, предложенный метод производства открывает новые перспективы в создании функциональных микробатарей и приближает эру электроники следующего поколения. Особенную пользу таких микробатарей мы видим для медицинской отрасли. Но в целом отрасль нуждается в более существенных прорывах, что касается, в особенной степени, недорогих способов налаживания серийного производства. Миниатюризация электронных устройств предъявляет совершенно новые требования также и к габаритам источников питания. При этом были использованы четыре лазерных луча. В качестве катода была использована литированная окись магния, а для анода — сплав никеля и олова.
30 Май 2015